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熱式氣體質(zhì)量量控制器 型號;HA-S48 32/HMT 編號 項目 S48 32/HMT 1 量規(guī)格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉 4 安裝方向 意 5 量控制范圍 2%- 6 量測量范圍 (0-100)% 7 零點溫漂 0.6
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